ພະລັງງານໄມໂຄເວຟ
-
ພະລັງງານໄມໂຄເວຟ
ໄມໂຄເວຟສະຫຼັບການສະຫນອງພະລັງງານແມ່ນການສະຫນອງພະລັງງານໄມໂຄເວຟປະເພດໃຫມ່ໂດຍອີງໃສ່ເຕັກໂນໂລຊີ inverter ຄວາມຖີ່ສູງ IGBT.ມັນປະສົມປະສານການສະຫນອງພະລັງງານແຮງດັນສູງ anode, ການສະຫນອງພະລັງງານ filament ແລະການສະຫນອງພະລັງງານພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ (ຍົກເວັ້ນການສະຫນອງພະລັງງານ microwave 3kW).ຄື້ນແມ່ເຫຼັກສະຫນອງເງື່ອນໄຂການເຮັດວຽກ.ຜະລິດຕະພັນນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນ MPCVD, microwave plasma etching, microwave plasma degumming ແລະຂົງເຂດອື່ນໆ.