MSB Series ການສະຫນອງພະລັງງານ Sputtering ຄວາມຖີ່ປານກາງ

MSB Series ການສະຫນອງພະລັງງານຄວາມຖີ່ຂະຫນາດກາງ Sputtering ຄຸນນະສົມບັດຮູບພາບ

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

ການສະຫນອງພະລັງງານ RF ຊຸດ RHH ອີງໃສ່ເຕັກໂນໂລຢີການຜະລິດ RF ທີ່ແກ່ແລ້ວເພື່ອໃຫ້ລູກຄ້າມີການສະຫນອງພະລັງງານ RF ທີ່ມີພະລັງງານຫຼາຍກວ່າເກົ່າ, ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການຕອບສະຫນອງໄວ.ດ້ວຍໄລຍະສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້, ສາມາດຄວບຄຸມກຳມະຈອນໄດ້, ການປັບແຕ່ງດິຈິຕອນ ແລະຟັງຊັນອື່ນໆ.ສາຂາທີ່ໃຊ້ໄດ້: ອຸດສາຫະກໍາ photovoltaic, ອຸດສາຫະກໍາສະແດງກະດານຮາບພຽງ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ອຸດສາຫະກໍາເຄມີ, ຫ້ອງທົດລອງ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ການຜະລິດ, ແລະອື່ນໆ.

ຂະບວນການທີ່ໃຊ້ໄດ້: plasma improved vapor deposition (PECVD), plasma etching, plasma cleaning, radio frequency ion source, plasma diffusion, plasma polymerization sputtering, reactive sputtering, etc.

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ

ຄຸນລັກສະນະ

● ຮູບແບບ rack mount ເຄິ່ງ brick ແລະ rack

● ນຳໃຊ້ການຄວບຄຸມແບບດິຈິຕອລເຕັມຮູບແບບ, ດ້ວຍເມນູການໃຊ້ງານທີ່ສະດວກ ແລະອຸດົມສົມບູນ

● ຟັງຊັນການປັບຄວາມຖີ່, ກໍາມະຈອນ ແລະກໍາມະຈອນ synchronization

● ດ້ວຍຟັງຊັນ synchronization ໄລຍະ CEX

●ຟັງຊັນປ້ອງກັນທີ່ສົມບູນແບບ

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້ອນຂໍ້ມູນ	ແຮງດັນໄຟຟ້າເຂົ້າ: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (ຂໍ້ກໍາຫນົດພິເສດສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້)
ປ້ອນຂໍ້ມູນ	ຄວາມຖີ່ຂອງການປ້ອນຂໍ້ມູນ: 47 ~ 63Hz
ຜົນຜະລິດ	ຄວາມຖີ່ຂອງການອອກ: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	ໄລຍະການປັບ: ±5%
	ພະລັງງານຜົນຜະລິດ: 1.5 ~ 5kW
	ລະດັບລະບຽບການຂອງພະລັງງານຜົນຜະລິດ: 1 ~ 100%
	ແຮງດັນຂາອອກ: 50Ω+j0
	ການໂຕ້ຕອບຜົນໄດ້ຮັບ: ປະເພດ N
	ຮູບແບບຜົນຜະລິດ: ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ກໍາມະຈອນ
	ຄວາມຖີ່ຂອງກໍາມະຈອນ: 100Hz ~ 100kHz
	ຮອບວຽນຫນ້າທີ່: 5 ~ 95%
ດັດຊະນີປະສິດທິພາບ	ປັດໄຈພະລັງງານ: 0.98
	ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງສະຖຽນລະພາບຄວາມຖີ່: ± 0.005%
	ປະສິດທິພາບ: 75% (ໃນການຈັດອັນດັບຜົນຜະລິດ)
	Harmonic: ＜-45dBc
	Stray: ＜-50dBc
	ການໂຕ້ຕອບການຄວບຄຸມພາຍນອກ: ປະລິມານການປຽບທຽບ, ການສື່ສານແລະ synchronization
	ຮູບແບບການສື່ສານ: ການໂຕ້ຕອບການສື່ສານມາດຕະຖານ RS485;ທາງເລືອກ Ether CAT, Ethernet ອຸດສາຫະກໍາ, ແລະອື່ນໆ.
ຫມາຍເຫດ: ຜະລິດຕະພັນຍັງສືບຕໍ່ປະດິດສ້າງແລະປະສິດທິພາບສືບຕໍ່ປັບປຸງ.ຄໍາອະທິບາຍພາລາມິເຕີນີ້ແມ່ນສໍາລັບການອ້າງອີງເທົ່ານັ້ນ.