MSD Series Sputtering Power Supply
ຄຸນລັກສະນະ
● ການຕິດຕັ້ງ Rack
● ຕອບສະໜອງໄວ, ເວລາຕອບສະໜອງ <100ns
● ການເກັບຮັກສາພະລັງງານດ້ານລຸ່ມ, <1mJ/kW
●ໂຄງສ້າງການຕິດຕັ້ງທີ່ຫນາແຫນ້ນ, ມາດຕະຖານ 3U chassis
●ການໂຕ້ຕອບການສະແດງພາສາຈີນ / ອັງກິດ, ງ່າຍຕໍ່ການປະຕິບັດງານ
● ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນ
● ລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງຜົນຜະລິດ
●ຟັງຊັນປ້ອງກັນທີ່ສົມບູນແບບ
ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ
ປ້ອນຂໍ້ມູນ | ແຮງດັນໄຟຟ້າເຂົ້າ: 3AC380V ± 10% |
ພະລັງງານ: 20kW, 30 kWI ຄວາມຖີ່ພະລັງງານ: 50Hz / 60Hz | |
ຜົນຜະລິດ | ສູງສຸດ.ແຮງດັນຜົນຜະລິດ: 800V |
ສູງສຸດ.ປະຈຸບັນຜົນຜະລິດ: 50A, 75A | |
Output ripple ໃນປັດຈຸບັນ: ≤3% rms | |
Output Voltage Ripple: ≤2% rms | |
ດັດຊະນີດ້ານວິຊາການ | ແຮງດັນໄຟໄຫມ້: 1000V / 1200V ທາງເລືອກ |
ປະສິດທິພາບການແປງ: 95% | |
Arc off time: <100ns | |
ການໂຕ້ຕອບການສື່ສານ: ມາດຕະຖານ RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet ແລະ EtherCAT ແມ່ນທາງເລືອກ) | |
ຂະໜາດ(H*W*D)mm:132*482*560:176*482*700 | |
ໂໝດຄວາມເຢັນ: ການລະບາຍອາກາດ | |
ຫມາຍເຫດ: ຜະລິດຕະພັນຍັງສືບຕໍ່ປະດິດສ້າງແລະປະສິດທິພາບສືບຕໍ່ປັບປຸງ.ຄໍາອະທິບາຍພາລາມິເຕີນີ້ແມ່ນສໍາລັບການອ້າງອີງເທົ່ານັ້ນ. |
ຂຽນຂໍ້ຄວາມຂອງທ່ານທີ່ນີ້ແລະສົ່ງໃຫ້ພວກເຮົາ