ການສະຫນອງພະລັງງານ RF
-
RLS Series RF Power Supply
ການສະຫນອງພະລັງງານ RF ຊຸດ RLS ຮັບຮອງເອົາເຄື່ອງຂະຫຍາຍສຽງທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ໃນປະຈຸບັນແລະລະບົບການຄວບຄຸມ DC ຫຼັກຂອງບໍລິສັດ, ດັ່ງນັ້ນຜະລິດຕະພັນມີການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນສູງ.ຮັບຮອງເອົາການໂຕ້ຕອບການສະແດງພາສາຈີນແລະພາສາອັງກິດ, ງ່າຍທີ່ຈະປະຕິບັດງານ.ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ photovoltaic, ອຸດສາຫະກໍາສະແດງກະດານຮາບພຽງ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ອຸດສາຫະກໍາເຄມີ, ຫ້ອງທົດລອງ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ການຜະລິດ, ແລະອື່ນໆ.
-
RMA Series Matchers
ມັນສາມາດປັບຕົວເຂົ້າກັບການສະຫນອງພະລັງງານ RF ຊຸດ RLS, ແລະຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ plasma etching, ການເຄືອບ, ທໍາຄວາມສະອາດ plasma, degumming plasma ແລະຂະບວນການອື່ນໆ.ເມື່ອໃຊ້ຢ່າງດຽວ, ມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ຮ່ວມກັນກັບອຸປະກອນພະລັງງານ RF ຂອງຜູ້ຜະລິດອື່ນໆ.
-
RHH Series RF ການສະຫນອງພະລັງງານ
ການສະຫນອງພະລັງງານ RF ຊຸດ RHH ອີງໃສ່ເຕັກໂນໂລຢີການຜະລິດ RF ທີ່ແກ່ແລ້ວເພື່ອໃຫ້ລູກຄ້າມີການສະຫນອງພະລັງງານ RF ທີ່ມີພະລັງງານຫຼາຍກວ່າເກົ່າ, ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການຕອບສະຫນອງໄວ.ດ້ວຍໄລຍະສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້, ສາມາດຄວບຄຸມກຳມະຈອນໄດ້, ການປັບແຕ່ງດິຈິຕອນ ແລະຟັງຊັນອື່ນໆ.ສາຂາທີ່ໃຊ້ໄດ້: ອຸດສາຫະກໍາ photovoltaic, ອຸດສາຫະກໍາສະແດງກະດານຮາບພຽງ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ອຸດສາຫະກໍາເຄມີ, ຫ້ອງທົດລອງ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ການຜະລິດ, ແລະອື່ນໆ.
ຂະບວນການທີ່ໃຊ້ໄດ້: plasma improved vapor deposition (PECVD), plasma etching, plasma cleaning, radio frequency ion source, plasma diffusion, plasma polymerization sputtering, reactive sputtering, etc.