Sputtering Power Supply
-
MSB Series ການສະຫນອງພະລັງງານ Sputtering ຄວາມຖີ່ປານກາງ
ການສະຫນອງພະລັງງານ RF ຊຸດ RHH ອີງໃສ່ເຕັກໂນໂລຢີການຜະລິດ RF ທີ່ແກ່ແລ້ວເພື່ອໃຫ້ລູກຄ້າມີການສະຫນອງພະລັງງານ RF ທີ່ມີພະລັງງານຫຼາຍກວ່າເກົ່າ, ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການຕອບສະຫນອງໄວ.ດ້ວຍໄລຍະສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້, ສາມາດຄວບຄຸມກຳມະຈອນໄດ້, ການປັບແຕ່ງດິຈິຕອນ ແລະຟັງຊັນອື່ນໆ.ສາຂາທີ່ໃຊ້ໄດ້: ອຸດສາຫະກໍາ photovoltaic, ອຸດສາຫະກໍາສະແດງກະດານຮາບພຽງ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ອຸດສາຫະກໍາເຄມີ, ຫ້ອງທົດລອງ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ການຜະລິດ, ແລະອື່ນໆ.
ຂະບວນການທີ່ໃຊ້ໄດ້: plasma improved vapor deposition (PECVD), plasma etching, plasma cleaning, radio frequency ion source, plasma diffusion, plasma polymerization sputtering, reactive sputtering, etc.
-
MSD Series Sputtering Power Supply
MSD ຊຸດ DC sputtering ການສະຫນອງພະລັງງານຮັບຮອງເອົາລະບົບການຄວບຄຸມ DC ຫຼັກຂອງບໍລິສັດປະສົມປະສານກັບໂຄງການການປຸງແຕ່ງ arc ທີ່ດີເລີດ, ດັ່ງນັ້ນຜະລິດຕະພັນມີການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງຫຼາຍ, ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນສູງ, ຄວາມເສຍຫາຍ arc ຂະຫນາດນ້ອຍແລະການເຮັດເລື້ມຄືນຂະບວນການທີ່ດີ.ຮັບຮອງເອົາການໂຕ້ຕອບການສະແດງພາສາຈີນແລະພາສາອັງກິດ, ງ່າຍທີ່ຈະປະຕິບັດງານ.