ຕົວຄວບຄຸມພະລັງງານຊຸດ TPM5 ຮັບຮອງເອົາແນວຄວາມຄິດການອອກແບບໂມດູນ ແລະລວມເຖິງ 6 ວົງຈອນພາຍໃນ.ຜະລິດຕະພັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ໃນ furnaces ການແຜ່ກະຈາຍ, PECVD, furnaces epitaxy, ແລະອື່ນໆ.